電子廠廢氣處理辦法——低溫等離子技術

 

電子廠涉及到的行業(yè)許多，不同行業(yè)在工藝上有必定差異，發(fā)生的廢氣品種也有必定的差異，今日就從半導體行業(yè)下手為咱們介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導體廢氣的處理***要針對半導體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的管理，咱們測驗運用低溫等離子廢氣處理技術。半導體行業(yè)發(fā)生的有機廢氣，***要能夠分為，半導體制作工藝發(fā)生的有機廢氣，和半導體封裝工藝發(fā)生的有機廢氣。

 

1、廠家處理有機廢氣和毒氣的處理辦法

 

現(xiàn)在，半導體制作過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)一般選用直接燃燒、活性炭吸附、生物氧化等辦法進行處理。

 

2、針對電子廠廢氣處理半導體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的管理，低溫等離子廢氣處理技術的凈化原理是：

 

將一般的220V/380V交流電經過變壓器，變頻器轉換為高頻高壓的電壓，發(fā)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子損壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵，斷開這些化學鍵然后發(fā)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結合構成二氧化碳，氧原子和氫原子結合構成水分子，終究發(fā)生排放到***氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

 

洗滌塔+低溫等離子處理計劃

 

3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術具有以下***點：

 

放電發(fā)生的低溫等離子體中，電子能量高，簡直能夠和一切的惡臭氣體分子效果。

反應快，不受氣速約束。

選用防腐蝕資料。

只需用電，操作極為簡略。

設備發(fā)動、中止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能運用。

氣阻小，適用于***風量的廢氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術應用***域：集成電路生產企業(yè)、分立器材生產企業(yè)、光電組件生產企業(yè)。

 

5、半導體企業(yè)廢氣排放***征剖析

 

半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量***、排放濃度小的***色。

 

6、半導體行業(yè)有機廢氣和毒氣的來源

 

半導體制作工藝發(fā)生的揮發(fā)性有機廢氣，***要來源于光刻、顯影、刻蝕及分散等工序

與半導體制作工藝比較，半導體封裝工藝發(fā)生的有機廢氣較為簡略，***要為晶粒張貼、封膠后烘烤過程發(fā)生的烘烤廢氣。

含毒氣性廢氣，其來源為化學氣相堆積、干蝕刻機、分散、離子布值機及磊晶等制程時所發(fā)生。***要成分是磷化氫等。

電子廠廢氣處理半導體低溫等離子技術，在實踐規(guī)劃中，需求加洗滌塔作為預處理設備，來阻攔粉塵和易溶性的酸堿廢氣。